本公司此次将推出半导体集成电路封测产线快检专用设备——YTS 500超声扫描显微镜。该产品的展出,吹响了思为仪器重磅入局半导体封测产业的号角,也是我们助力“中国芯”的起点。
此产品针对半导体集成电路封测产线线快检,对塑料分层、粘片空洞、焊接缺陷分析,检测能力、同步扫描技术、速度倍增;
系统特性
l 整机尺寸:800mm×600mm×1300mm
l 水槽尺寸:380mm×240mm×110mm
l 扫描范围:手动:260mm×100mm×50mm; 自动:260mm×25mm×50mm
l 典型扫描耗时:≤45s(测试条件:扫描区域10mm×10mm,分辨率50um)
l 扫描速度:300mm/s
l 图像推荐分辨率:1~4000um
l 厚度检测范围:根据客户工件的材料和厚度选配。
l 定位精度:X/Y≤±1μm,Z≤±10μm
l 重复定位精度:X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm
客户装机现场